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  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "李嘉平".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="金屬化"


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    二階段有機金屬化學氣相沉積銅晶種層及其在積體電路之銅製程上的應用
    • 化學工程系 /94/ 博士
    • 研究生: 李欣浤 指導教授:
    • 本研究主要提出一種新穎的二階段化學氣相沉積(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)成長銅晶種層(Seed layer)於氮化鉭(TaNx)阻障層薄膜的應用之…
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    • 全文公開日期 2006/10/08 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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